Effect of Plenum Chamber Configuration on Airflow Uniformity in Uni-directional Flow Cleanrooms

Guoping Xie, Yoshihide Suwa

研究成果: Article

元の言語English
ページ(範囲)21
ページ数27
ジャーナルJournal of the IEST
37
発行部数4
出版物ステータスPublished - 1995

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