Effect of pulse bias voltage and nitrogen pressure on nitrogen distribution in steel substrate by plasma immersion ion implantation of nitrogen

Atsusshi Mitsuo, S. Uchida, T. Aizawa

研究成果: Article査読

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フィンガープリント 「Effect of pulse bias voltage and nitrogen pressure on nitrogen distribution in steel substrate by plasma immersion ion implantation of nitrogen」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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