Electron beam induced deposition of position and size controlled structures on the nanometre scale

K. Furuya, K. Mitsuishi, M. Shimojo, M. Song, M. Tanaka, M. Takeguchi

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)239-242
ジャーナルSpringer Proceedings in Physics
vol. 107
出版ステータスPublished - 2006 1 1

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