Electron beam induced depositions of nano-dots by the presence of the partial pressure of precursor

K. Furuya, M. Tanaka, M. Shimojo, K. Mitsuishi

研究成果: Article

本文言語English
ページ(範囲)540-541
ページ数2
ジャーナルMicroscopy and Microanalysis
10
SUPPL. 2
DOI
出版ステータスPublished - 2004 9 24
外部発表はい

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