Electron induced nanodeposition of tungsten using field emission scanning and transmission electron microscopes

M. Shimojo, K. Mitsuishi, A. Tameike, K. Furuya

研究成果: Article

33 引用 (Scopus)
元の言語English
ページ(範囲)742-746
ページ数5
ジャーナルJournal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
22
発行部数2
DOI
出版物ステータスPublished - 2004

ASJC Scopus subject areas

  • Condensed Matter Physics
  • Electrical and Electronic Engineering

フィンガープリント Electron induced nanodeposition of tungsten using field emission scanning and transmission electron microscopes' の研究トピックを掘り下げます。これらはともに一意のフィンガープリントを構成します。

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