Electron induced nanodeposition of tungsten using field emission scanning and transmission electron microscopes

M. Shimojo, K. Mitsuishi, A. Tameike, K. Furuya

研究成果: Article査読

34 被引用数 (Scopus)
本文言語English
ページ(範囲)742-746
ページ数5
ジャーナルJournal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
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DOI
出版ステータスPublished - 2004
外部発表はい

ASJC Scopus subject areas

  • Condensed Matter Physics
  • Electrical and Electronic Engineering

フィンガープリント 「Electron induced nanodeposition of tungsten using field emission scanning and transmission electron microscopes」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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