Etching method for fabricating ultracompact three-dimensional monolithic microwave integrated circuits

Suehiro Sugitani, Kiyomitsu Onodera, Shinji Aoyama, Makoto Hirano, Masami Tokumitsu

    研究成果査読

    2 被引用数 (Scopus)

    フィンガープリント

    「Etching method for fabricating ultracompact three-dimensional monolithic microwave integrated circuits」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Engineering & Materials Science

    Physics & Astronomy