Examination of etching agent and etching mechanism on femotosecond laser microfabrication of channels inside vitreous silica substrates

Satoshi Kiyama, Shigeki Matsuo, Shuichi Hashimoto, Yasushi Morihira

研究成果: Article査読

178 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Examination of etching agent and etching mechanism on femotosecond laser microfabrication of channels inside vitreous silica substrates」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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