Fabrication and characterization of annular-shaped piezoelectric micromachined ultrasonic transducer mounted with Pb(Zr,Ti)O3-based monocrystalline thin film

Ziyi Liu, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka

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フィンガープリント

「Fabrication and characterization of annular-shaped piezoelectric micromachined ultrasonic transducer mounted with Pb(Zr,Ti)O3-based monocrystalline thin film」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds