Fabrication and characterization of nano-dots produced by electron beam induced deposition using metal carbonyls

M. Shimojo, M. Takeguchi, K. Mitsuishi, M. Tanaka, K. Furuya

研究成果: Conference contribution

本文言語English
ホスト出版物のタイトルDigest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2004
出版社The Japan Society of Applied Physics
ページ144-145
ページ数2
ISBN(印刷版)4990247205, 9784990247201
DOI
出版ステータスPublished - 2004
外部発表はい
イベント2004 International Microprocesses and Nanotechnology Conference - Osaka, Japan
継続期間: 2004 10 262004 10 29

出版物シリーズ

名前Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2004

Conference

Conference2004 International Microprocesses and Nanotechnology Conference
国/地域Japan
CityOsaka
Period04/10/2604/10/29

ASJC Scopus subject areas

  • 工学(全般)

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