Fabrication and Electrical Properties of Nanocarbon/Metal Hybrid Interconnects

M.Takagi M.Takagi, T. Wakui, Y. Karasawa, S. Kuwahara, N. Sakuma, A. Kajita, T. Sakai, K. Ueno

研究成果: Article

元の言語English
ページ(範囲)134-135
ジャーナルEntended Abstracts of Advanced Metallization Conference 2011: 21st Asian Session
出版物ステータスPublished - 2011 9 14

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