Fabrication of high-aspect-ratio pillars by proton beam writing and application to DEP-devices

Y. Furuta, N. Uchiya, H. Nishikawa, J. Haga, M. Oikawa, T. Satoh, Y. Ishii, T. Kamiya, R. Nakao, S. Uchida

研究成果: Conference contribution

5 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Fabrication of high-aspect-ratio pillars by proton beam writing and application to DEP-devices」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science