Fabrication of high-aspect-ratio PZT thick film structure using sol-gel technique and SU-8 photoresist

Nobuyuki Futai, Kiyoshi Matsumoto, Isao Shimoyama

研究成果査読

7 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Fabrication of high-aspect-ratio PZT thick film structure using sol-gel technique and SU-8 photoresist」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science