Fabrication of magnetic nanostructures by electron beam induced deposition

Masaki Takeguchi, Masayuki Shimojo

研究成果: Chapter

抄録

Electron beam induced deposition (EBID) is one of the promising techniques for fabrication of nanometer-sized structures with desired shapes at desired positions. Constitution of the nanostructures formed by EBID can be controlled by choosing the type of precursor element. This chapter describes the recent progress of fabrication of magnetic nanostructures using EBID.

本文言語English
ホスト出版物のタイトルNanomagnetism and Spintronics
ホスト出版物のサブタイトルFabrication, Materials, Characterization and Applications
出版社World Scientific Publishing Co.
ページ45-61
ページ数17
ISBN(電子版)9789814273060
ISBN(印刷版)9789814273053
DOI
出版ステータスPublished - 2010 1 1
外部発表はい

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フィンガープリント

「Fabrication of magnetic nanostructures by electron beam induced deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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