Fabrication of Mo/Si multilayer mirrors for extreme ultraviolet lithography by means of superconducting bulk magnet magnetron sputtering

U. Mizutani, T. Yamaguchi, H. Ikuta, T. Tomofuji, Y. Yanagi, Y. Itoh, T. Oka

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Fabrication of Mo/Si multilayer mirrors for extreme ultraviolet lithography by means of superconducting bulk magnet magnetron sputtering」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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