Fabrication of PMMA film waveguides utilizing proton beam writing

Kenta Miura, Takahiro Satoh, Yasuyuki Ishii, Masashi Kohka, Yuki Machida, Masato Uehara, Hiromu Kiryu, Katsuyoshi Takano, Takeru Ohkubo, Akiyoshi Yamazaki, Wataru Kada, Akihito Yokoyama, Tomihiro Kamiya, Hiroyuki Nishikawa, Tomoyuki Sasaki, Osamu Hanaizumi

研究成果: Conference contribution

抄録

Proton beam writing (PBW) has attracted much attention recently as a next generation micro-fabrication technology. We fabricated the first single-mode, straight-line waveguides and Y-junction waveguides for λ=1.55 μm consisting of PMMA films using the PBW technique.

本文言語English
ホスト出版物のタイトル16th Opto-Electronics and Communications Conference, OECC 2011
ページ303-304
ページ数2
出版ステータスPublished - 2011 10 4
イベント16th Opto-Electronics and Communications Conference, OECC 2011 - Kaohsiung, Taiwan, Province of China
継続期間: 2011 7 42011 7 8

出版物シリーズ

名前16th Opto-Electronics and Communications Conference, OECC 2011

Conference

Conference16th Opto-Electronics and Communications Conference, OECC 2011
国/地域Taiwan, Province of China
CityKaohsiung
Period11/7/411/7/8

ASJC Scopus subject areas

  • コンピュータ ネットワークおよび通信
  • 電子工学および電気工学
  • 通信

フィンガープリント

「Fabrication of PMMA film waveguides utilizing proton beam writing」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

引用スタイル