Fabrication of three-dimensional periodic microstructures in photoresist SU-8 by phase-controlled holographic lithography

Toshiaki Kondo, Saulius Juodkazis, Vygantas Mizeikis, Shigeki Matsuo, Hiroaki Misawa

研究成果: Article査読

59 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Fabrication of three-dimensional periodic microstructures in photoresist SU-8 by phase-controlled holographic lithography」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy