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FE-B-NB-ND magnetic metallic glass thin film for MEMS/NEMS structure
T. A. Phan, S. M. Lee, A. Makino,
H. Oguchi
, H. Kuwano
研究成果
:
Conference contribution
2
被引用数 (Scopus)
概要
フィンガープリント
フィンガープリント
「FE-B-NB-ND magnetic metallic glass thin film for MEMS/NEMS structure」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。
並べ替え順
重み付け
アルファベット順
Engineering & Materials Science
NEMS
100%
Metallic glass
95%
Thin films
64%
MEMS
63%
Magnetic properties
55%
Micromachining
27%
Harvesters
26%
Surface morphology
25%
Residual stresses
19%
Elastic moduli
19%
Hardness
17%
Fabrication
16%
Physics & Astronomy
metallic glasses
69%
microelectromechanical systems
66%
thin films
35%
magnetic properties
31%
micromachining
25%
residual stress
21%
modulus of elasticity
18%
hardness
17%
vibration
14%
fabrication
13%
energy
6%
Chemical Compounds
Metallic Glass
89%
Magnetic Property
36%
Micromachining
31%
Surface Structure
22%
Liquid Film
11%
Energy
10%