Femtosecond laser-assisted etching of Pyrex glass with aqueous solution of KOH

Shigeki Matsuo, Haruki Sumi, Satoshi Kiyama, Takuro Tomita, Shuichi Hashimoto

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抄録

A femtosecond laser-assisted etching technique was applied to Pyrex glass, a kind of borosilicate glass, to perform removal processing with three-dimensional arbitrarity in design and micrometer-order spatial resolution. An aqueous solution of potassium hydroxide (KOH) was adopted as a highly selective etchant. The rate and selectivity of etching were evaluated from in situ images, and fabrication of three-dimensional microchannels was demonstrated.

本文言語English
ページ(範囲)9758-9760
ページ数3
ジャーナルApplied Surface Science
255
24
DOI
出版ステータスPublished - 2009 9 30
外部発表はい

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フィンガープリント

「Femtosecond laser-assisted etching of Pyrex glass with aqueous solution of KOH」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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