Fluorinated Interlayer Dielectric Films in ULSI Multilevel Inter- connections

研究成果: Article

16 引用 (Scopus)
元の言語English
ページ(範囲)49-59
ジャーナルAmorphous Insulating Thin Films II., Simposia Proceedings
46
出版物ステータスPublished - 1995 1 1

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