| 本文言語 | English |
|---|---|
| ページ（範囲） | 49-59 |
| ジャーナル | Amorphous Insulating Thin Films II., Simposia Proceedings |
| 巻 | 46 |
| 出版ステータス | Published - 1995 1月 1 |
Fluorinated Interlayer Dielectric Films in ULSI Multilevel Inter- connections
研究成果: Article › 査読
17
被引用数
(Scopus)