本文言語 | English |
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ジャーナル | E-MRS Spring Meeting Abstracts(A-IV.1) |
出版ステータス | Published - 1994 5月 24 |
Fluorinated Interlayer Dielectric Films in ULSI Multilevel Interconnections
研究成果: Article › 査読
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本文言語 | English |
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ジャーナル | E-MRS Spring Meeting Abstracts(A-IV.1) |
出版ステータス | Published - 1994 5月 24 |