Formation of iron silicide nano-islands on Si substrates by metal organic chemical vapor deposition under electron beams

M. Tanaka, F. Chu, M. Shimojo, M. Takeguchi, K. Mitsuishi, K. Furuya

研究成果: Article査読

8 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Formation of iron silicide nano-islands on Si substrates by metal organic chemical vapor deposition under electron beams」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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