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Formation of titanium and aluminum films by supersonic free-jet PVD method
A. Yumoto
, F. Hiroki, I. Shiota, N. Niwa
研究成果
:
Article
›
査読
8
被引用数 (Scopus)
概要
フィンガープリント
フィンガープリント
「Formation of titanium and aluminum films by supersonic free-jet PVD method」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。
並べ替え順
重み付け
アルファベット順
Engineering & Materials Science
Adhesion
12%
Agglomeration
11%
Aluminum
62%
Coatings
20%
Cracks
9%
Diamonds
13%
Evaporation
53%
Flow of gases
13%
Gases
30%
Helium
15%
Hot Temperature
6%
Mach number
13%
Metallic films
45%
Metals
8%
Nozzles
35%
Physical vapor deposition
99%
Substrates
19%
Titanium
78%
Vacuum
11%
Vickers hardness
16%
Physics & Astronomy
adhesion
8%
agglomeration
11%
aluminum
55%
atmospheres
14%
chambers
32%
coating
18%
cracks
7%
diamonds
8%
electric power
10%
evaporation
30%
free jets
100%
gas flow
9%
gases
20%
heat
6%
helium
7%
metals
5%
nozzles
28%
outlets
11%
proportion
9%
test equipment
10%
titanium
67%
vacuum
6%
Vickers hardness
11%
voids
8%
Chemical Compounds
Agglomeration
9%
Coating Agent
12%
Diamond
9%
Evaporation
35%
Flow
6%
Force
6%
Gas
10%
Heat
7%
Jet
10%
Liquid Film
39%
Metal
4%
Nozzle
35%
Pressure
5%
Reduction
4%
Vacuum
8%
Velocity
25%
Vickers Hardness
12%