Formation of titanium and aluminum films by supersonic free-jet PVD method

A. Yumoto, F. Hiroki, I. Shiota, N. Niwa

研究成果: Article査読

8 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Formation of titanium and aluminum films by supersonic free-jet PVD method」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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