Fully Planarized Multilevel Interconnection Using Selective SiO2 Deposition

T. Homma, T. Homma;T.Katoh;Y.Yamada;J.Shimizu;Y. Murao

研究成果: Article査読

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本文言語English
ページ(範囲)315-322
ジャーナルNEC Research & Development
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出版ステータスPublished - 1991 7月 1

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