Grain growth of electroplated copper film by alternative annealing methods

Kazuyoshi Ueno, Kouichiro Shimotani, Yuji Shimada, Shigeru Yomogida, Takato Takeshita, Akiko Hashimoto, Takashi Yata

研究成果: Conference contribution

2 引用 (Scopus)

フィンガープリント Grain growth of electroplated copper film by alternative annealing methods' の研究トピックを掘り下げます。これらはともに一意のフィンガープリントを構成します。

Chemical Compounds

Engineering & Materials Science