Grain growth of electroplated copper film by alternative annealing methods

Kazuyoshi Ueno, Kouichiro Shimotani, Yuji Shimada, Shigeru Yomogida, Takato Takeshita, Akiko Hashimoto, Takashi Yata

研究成果: Conference contribution

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Grain growth of electroplated copper film by alternative annealing methods」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds