Graphical Approach to Sensitive Detection of Interface Defects in Thin Oxide MOS Capacitors

K. Kita, Y. Osaka, K. Kyuno, S. Takagi, K. Takasaki, M. Kubota, Y. Shimamoto, A. Toriumi

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)206-214
ジャーナルProceedings of the 2nd International Semiconductor Technology Conference (ISTC-2)
出版ステータスPublished - 2002 9 1

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