Half-micron pitch Cu interconnection technology

Kazuyoshi Ueno, Koichi Ohto, Kinji Tsunenari

研究成果: Conference article

12 引用 (Scopus)

フィンガープリント Half-micron pitch Cu interconnection technology' の研究トピックを掘り下げます。これらはともに一意のフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science