High precision adaptive control for piezo-actuated stage

Xinkai Chen

研究成果: Article › 査読

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「High precision adaptive control for piezo-actuated stage」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science