High-speed rotating-disk chemical vapor deposition process for in-situ arsenic-doped polycrystalline silicon films

Fujio Terai, Hiroaki Kobayashi, Shuji Katsui, Naoki Tamaoki, Takao Nagatomo, Tetsuya Homma

研究成果: Article査読

4 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「High-speed rotating-disk chemical vapor deposition process for in-situ arsenic-doped polycrystalline silicon films」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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