Higher-k LaYOx films with strong moisture resistance

Y.Zhao Y.Zhao, K.Kita K.Kita, K.Kyuno K.Kyuno, A.Toriumi A.Toriumi, Kentaro Kyuno

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本文言語English
ジャーナルApplied Physics Letters 89
出版ステータスPublished - 2006 12月 1

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