Higher-k LaYOx films with strong moisture resistance

Y.Zhao Y.Zhao, K.Kita K.Kita, K.Kyuno K.Kyuno, A.Toriumi A.Toriumi, Kentaro Kyuno

研究成果: Article

63 引用 (Scopus)
元の言語English
ジャーナルApplied Physics Letters 89
出版物ステータスPublished - 2006 12 1

これを引用

Y.Zhao, Y. Z., K.Kita, K. K., K.Kyuno, K. K., A.Toriumi, A. T., & Kyuno, K. (2006). Higher-k LaYOx films with strong moisture resistance. Applied Physics Letters 89.