Higher-k LaYOx films with strong moisture resistance

Y.Zhao Y.Zhao, K.Kita K.Kita, K.Kyuno K.Kyuno, A.Toriumi A.Toriumi, Kentaro Kyuno

研究成果: Article査読

69 被引用数 (Scopus)
本文言語English
ジャーナルApplied Physics Letters 89
出版ステータスPublished - 2006 12 1

引用スタイル