本文言語 | English |
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ジャーナル | Applied Physics Letters 89 |
出版ステータス | Published - 2006 12月 1 |
Higher-k LaYOx films with strong moisture resistance
Y.Zhao Y.Zhao, K.Kita K.Kita, K.Kyuno K.Kyuno, A.Toriumi A.Toriumi, Kentaro Kyuno
研究成果 › 査読
72
被引用数
(Scopus)