Higher-k LaYOx films with strong moisture-robustness

Yi Zhao, Koji Kita, Kentaro Kyuno, Akira Toriumi

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント 「Higher-k LaYOx films with strong moisture-robustness」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science