Improvement of depth resolution of ADF-SCEM by deconvolution -- Effects of electron energy loss and chromatic aberration on depth resolution

研究成果: Article

2 引用 (Scopus)
元の言語English
ページ(範囲)603-611
ジャーナルMicrosc. Microanal.
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出版物ステータスPublished - 2012 12 1

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