Improvement of depth resolution of ADF-SCEM by deconvolution: Effects of electron energy loss and chromatic aberration on depth resolution

Xiaobin Zhang, Masaki Takeguchi, Ayako Hashimoto, Kazutaka Mitsuishi, Meguru Tezuka, Masayuki Shimojo

研究成果: Article査読

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Improvement of depth resolution of ADF-SCEM by deconvolution: Effects of electron energy loss and chromatic aberration on depth resolution」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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