Improvement of friction and wear performance of titanium nitride films by chlorine ion implantation.

A. Mitsuo, T. Aizawa

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)1361-1366
ジャーナルmaterials transactions, jim
40 [12] (1999)
出版ステータスPublished - 1800

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