Influence of post-deposition annealing on interface characteristics at Al2O3/n-GaN

Kazuya Yuge, Toshihide Nabatame, Yoshihiro Irokawa, Akihiko Ohi, Naoki Ikeda, Akira Uedono, Liwen Sang, Yasuo Koide, Tomoji Ohishi

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「Influence of post-deposition annealing on interface characteristics at Al2O3/n-GaN」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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Physics & Astronomy