Infrared absorption study of HfO2 and HfO2/Si interface ranging from 200cm-1 to 2000cm-1

Kazuyuki Tomida, Haruka Shimizu, Koji Kita, Kentaro Kyuno, Akira Toriumi

研究成果: Conference article査読

9 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Infrared absorption study of HfO2 and HfO2/Si interface ranging from 200cm-1 to 2000cm-1」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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