Instability of Si-F bonds in fluorinated silicon oxide (SiOF) films formed by various techniques

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フィンガープリント 「Instability of Si-F bonds in fluorinated silicon oxide (SiOF) films formed by various techniques」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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