Inverse analysis with surface wave spectroscopy to determine material properties of thin film on substrate.

I. Ihara, T. Aizawa, J. Kihara, H. Koguchi

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)575-584
ジャーナルSimulation of Materials Processing. Theory, Methods and Applications-
(1995)
出版ステータスPublished - 1995 7月 1

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