本文言語 | English |
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ページ(範囲) | 575-584 |
ジャーナル | Simulation of Materials Processing. Theory, Methods and Applications- |
巻 | (1995) |
出版ステータス | Published - 1995 7月 1 |
Inverse analysis with surface wave spectroscopy to determine material properties of thin film on substrate.
I. Ihara, T. Aizawa, J. Kihara, H. Koguchi
研究成果: Article › 査読