Investigation on grown-in defects in CZ-Si crystal under slow pulling rate

Jun Furukawa, Hideo Tanaka, Yuji Nakada, Naoki Ono, Hiroyuki Shiraki

研究成果: Conference article査読

15 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Investigation on grown-in defects in CZ-Si crystal under slow pulling rate」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds

Physics & Astronomy