Laser micro fabrication of photoresist rod array using a microlens array

Shigeki Matsuo, Takashi Miyamoto, Takuro Tomita

研究成果: Conference contribution

1 被引用数 (Scopus)

抄録

Simultaneous fabrication of periodically arranged rods of photoresist with an aspect ratio of about 15 was carried out by femtosecond laser processing using a microlens array.

本文言語English
ホスト出版物のタイトルPacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO/Pacific Rim 2005
ページ1731-1732
ページ数2
DOI
出版ステータスPublished - 2005 12 1
外部発表はい
イベントPacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO/Pacific Rim 2005 - Tokyo, Japan
継続期間: 2005 7 112005 7 15

出版物シリーズ

名前Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO - Technical Digest
2005

Conference

ConferencePacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO/Pacific Rim 2005
CountryJapan
CityTokyo
Period05/7/1105/7/15

ASJC Scopus subject areas

  • Electronic, Optical and Magnetic Materials
  • Atomic and Molecular Physics, and Optics
  • Condensed Matter Physics
  • Electrical and Electronic Engineering

フィンガープリント 「Laser micro fabrication of photoresist rod array using a microlens array」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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