本文言語 | English |
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ページ(範囲) | 243-285 |
ジャーナル | Journal of Material Science and Technology, R |
巻 | R23 |
出版ステータス | Published - 1998 9月 16 |
Low Dielectric Comstant Materials and Methods for Interlayer Dielectric Films in Ultra-large-scale Integrated Circuit Multilevel Interconnection
研究成果: Article › 査読
120
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(Scopus)