Low resistance copper via technology (Invited)

K.Ueno K.Ueno, V.M.Donnelly V.M.Donnelly, Y.Tsuchiya Y.Tsuchiya, H.Aoki H.Aoki, Kazuyoshi Ueno

研究成果: Article査読

本文言語English
ジャーナルAbstract of Symposium on Advanced Interconnects and Contacts
出版ステータスPublished - 1999 4 5

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