Low temperature wafer direct bonding between GaInAsP etch stop layer and Gd3Ga5O12

Hideki Yokoi, Tetsuya Mizumoto

研究成果: Paper査読

フィンガープリント

「Low temperature wafer direct bonding between GaInAsP etch stop layer and Gd3Ga5O12」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science