Low temperature wafer direct bonding between GaInAsP etch stop layer and Gd3Ga5O12

Hideki Yokoi, Tetsuya Mizumoto

研究成果: Paper

フィンガープリント Low temperature wafer direct bonding between GaInAsP etch stop layer and Gd<sub>3</sub>Ga<sub>5</sub>O<sub>12</sub>' の研究トピックを掘り下げます。これらはともに一意のフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science