Low temperature wafer direct bonding between GaInAsP etch stop layer and Gd3Ga5O12

Hideki Yokoi, Tetsuya Mizumoto

研究成果: Paper査読

フィンガープリント 「Low temperature wafer direct bonding between GaInAsP etch stop layer and Gd<sub>3</sub>Ga<sub>5</sub>O<sub>12</sub>」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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