Low temperature wafer direct bonding between GaZnAsP etch stop layer and Gd3GasO12.

Hideki Yokoi, Tetsuya Mizumoto

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)336
ジャーナルEuropean Physical Society
出版ステータスPublished - 1998 9 17

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