Mechanical and field emission properties of CGed Si(C,N) films synthesized by PECVD from HMDS precursor

Y. S. Li, H. Kiyono, S. Shimada, X. Lu, A. Hirose

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フィンガープリント

「Mechanical and field emission properties of CGed Si(C,N) films synthesized by PECVD from HMDS precursor」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds