Mechanical strengthening of silicon torsion bar of scanning micro mirror by hydrogen anneal

Shinya Yoshida, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「Mechanical strengthening of silicon torsion bar of scanning micro mirror by hydrogen anneal」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds