Mechanisms of and solutions to moisture absorption of lanthanum oxide as high k gate dielectric

Yi Zhao, Koji Kita, Kentaro Kyuno, Akira Toriumi

研究成果: Conference contribution

8 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Mechanisms of and solutions to moisture absorption of lanthanum oxide as high k gate dielectric」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science