MEMS Electric Power Generator Using a Piezoelectric PZT Thin Film Cantilever

Shinya Ishikawa, Kazumasa Shibata, Katsuhiro Tanaka, Sumito Nagasawa, Hiroki Kuwano

研究成果: Article

元の言語English
ページ(範囲)265-268
ジャーナルProceedings of PowerMEMS2008+μEMS2008
出版物ステータスPublished - 2008 4 1

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