Micro fabrication development of a vibration-based sputtered PZT thin film micro energy harvester

K. Shibata, S. Ishikawa, K. Tanaka, S. Nagasawa, Z. Cao, H. Oguchi, M. Hara, H. Kuwano

研究成果: Conference contribution

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Micro fabrication development of a vibration-based sputtered PZT thin film micro energy harvester」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science