Micro-grooving into thick CVD diamond films via hollow-cathode oxygen plasma etching

Ersyzario Edo Yunata, Tatsuhiko Aizawa

研究成果査読

9 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Micro-grooving into thick CVD diamond films via hollow-cathode oxygen plasma etching」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science