Micro-Machined Micro Ion Source for MEMS Flexible Process

Shinya Tamonoki, Hiroki Kuwano, Sumito Nagasawa

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)627-630
ジャーナルAbstract of The Int. Conference on Nanoscience and Technology (ICN+T2007),
出版ステータスPublished - 2007 4 1

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